特許
J-GLOBAL ID：200903028060924586
導波路光デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-198721
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140430
出願日： 1985年09月27日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 基板表面に焦電効果により発生する分極電荷が動作特性に悪影響を与えることを防止可能な導波路光デバイスの製造方法を提供する。【構成】 焦電効果を有するZ板LiNbO3 基板1にTi拡散層2を形成して光導波路とした後、その上面にSiO2 からなるバッファ層3を形成してから、更にその上面にAl等からなる複数の電極4を形成する。更に、電極4上面からバッファ層3上面を介し基板1上の全面を覆う形で、ITO膜からなる所定の膜体6をコーティングする。この膜体6の抵抗値は、基板1に生じる分極電荷に対応して逆電荷を供給できる範囲内であって、かつ、電極4、4間の実質的な導通を阻止しうる範囲内に設定されている。このようにして得られたデバイスにおいて、たとえ温度が上昇して基板1表面に焦電効果によって分極電荷が発生したとしても、各電極4と電極4、4間の膜体6のどちらにも上記分極電荷に対応した逆電荷が均一に供給されるため、従来のような無用の電界の発生が防止され、温度特性の改善が図れる。
請求項（抜粋）：
焦電効果を有する基板(1)上に光導波路(2)を作成した後、該光導波路を含む基板上面に該光導波路よりも屈折率の低い透明なバッファ層(3)を作成し、しかる後に該バッファ層上に複数の電極(4)を作成し、更に、前記基板に生じる分極による電荷に対応して逆電荷を供給できると共に電極間の実質的な導通を阻止する抵抗値を有する膜体(6)を、前記電極上面から前記基板上面を全面覆う形でコーティングすることを特徴とする導波路光デバイスの製造方法。
IPC (2件)：
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