特許

J-GLOBAL ID：200903028069124132

液体材料の気化供給装置

発明者： 宮本 英顕
出願人/特許権者： 株式会社エステック
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157443
公開番号（公開出願番号）：特開2000-342955
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】 任意濃度の気化ガスを再現性良く安定的に供給可能な液体材料の気化供給装置を提供する。【解決手段】 圧力調整手段3と一次側の開閉バルブ4とを備えて、定圧のキャリアガスを供給するためのガス供給ライン2を、気化タンク1に接続すると共に、一次側の開閉バルブ4の下流側に、気化すべき液体材料の定量供給手段5を接続し、かつ、気化タンク1に、キャリアガスと気化ガスとの混合ガスをユースポイントPに取り出すための混合ガスライン7を接続すると共に、この混合ガスライン7に二次側の開閉バルブ11を設け、更に、気化タンク1を真空近くに減圧するための減圧ライン12に開閉バルブ14を設けると共に、気化タンク1と混合ガスラインとを所定温度に加熱保持するための加熱手段16を備えて、液体材料の気化供給装置を構成している。

請求項（抜粋）：

圧力調整手段と一次側の開閉バルブとを備えて、定圧のキャリアガスを供給するためのガス供給ラインを、気化タンクに接続すると共に、一次側の開閉バルブの下流側に、気化すべき液体材料の定量供給手段を接続し、かつ、気化タンクに、キャリアガスと気化ガスとの混合ガスをユースポイントに取り出すための混合ガスラインを接続すると共に、この混合ガスラインに二次側の開閉バルブを設け、更に、気化タンクを真空近くに減圧するための減圧ラインに開閉バルブを設けると共に、気化タンクと混合ガスラインとを所定温度に加熱保持するための加熱手段を備えて成ることを特徴とする液体材料の気化供給装置。

IPC (3件)：

B01J 7/02 ,  B01J 3/02 101 ,  B01J 4/02

FI (3件)：

B01J 7/02 Z ,  B01J 3/02 101 J ,  B01J 4/02 B

Fターム (16件)：

4G068AA02 ,  4G068AA06 ,  4G068AB15 ,  4G068AC01 ,  4G068AC17 ,  4G068AD37 ,  4G068AE01 ,  4G068AE10 ,  4G068AF01 ,  4G068AF02 ,  4G068AF13 ,  4G068DA10 ,  4G068DB03 ,  4G068DB04 ,  4G068DD01 ,  4G068DD15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 液体材料気化供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-112250   出願人：株式会社エステック
• 特開平2-145768
  
• 特開平2-145768