平板状ワークの検査、修正装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-178453
公開番号（公開出願番号）：特開2005-017386
出願日： 2003年06月23日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】設備の構造が簡単であり、その所要設置面積を小さくすることができ、かつ検査、修正作業におけるタクトタイムを短縮する。【解決手段】検査テーブル7上の平板状ワークWをY軸方向yに移動させ、その欠陥を検出カメラで検出する欠陥検査装置2と、修正テーブル上の欠陥部を有する平板状ワークWを、加工ヘッドをX軸方向とY軸方向yに移動させて、平板状ワークWの欠陥部を修正加工する欠陥修正装置3とを備え、欠陥修正装置3を欠陥検査装置2の上方に配置すると共に、欠陥検査装置2の検査テーブル7から検査済みの平板状ワークWを搬出して、欠陥部を有する平板状ワークWを欠陥修正装置3の修正テーブルに搬入し、修正加工された平板状ワークWを修正テーブルから搬出する搬送装置4を、欠陥検査装置2に対する平板状ワークWの搬送方向イの下流側に配置した構成とされている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査テーブルに載置された平板状ワークとその上方に配置された検出カメラとを相対的にY軸方向に移動させて、前記平板状ワークの欠陥を前記検出カメラで検出する欠陥検査装置と、修正テーブルに載置された欠陥部を有する平板状ワークとその上方に配置された修正ヘッドとを相対的にX軸方向とY軸方向に移動させて、平板状ワークの欠陥部を前記修正ヘッドで修正する欠陥修正装置とを備え、かつ欠陥検査装置と欠陥修正装置のうちの一方を他方の上方に配置すると共に、前記欠陥検査装置の検査テーブルから検査済みの平板状ワークを搬出して、欠陥部を有する平板状ワークを前記欠陥修正装置の修正テーブルに搬入し、修正された平板状ワークを前記修正テーブルから搬出する搬送装置を、前記欠陥検査装置に対する平板状ワークの搬送方向の下流側に配置したことを特徴とする平板状ワークの検査、修正装置。

IPC (2件)：

G02F1/13 , G01N21/958

FI (2件)：

G02F1/13 101 , G01N21/958

Fターム (16件)：

2G051AA42 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051BA10 , 2G051CA04 , 2G051DA07 , 2H088EA67 , 2H088FA11 , 2H088FA13 , 2H088FA14 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA12 , 2H088MA00 , 2H088MA16 , 2H088MA20

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