特許

J-GLOBAL ID：200903028099214705

処理装置およびその位置出し方法

発明者： 長谷川 孝祐 ,  渡辺 伸吾 ,  稲富 康博
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360587
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164265
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 中抜きにされた位置に新たな処理装置を設置する場合に隣接する処理装置に邪魔されることなく位置出し作業を容易に行えるようにする。【解決手段】 装置本体1aの前部に、複数の被処理体wが密閉状態で収容された蓋付きの運搬容器2を搬送する頭上搬送機構55により運搬容器2の受け渡しを行う載置台7を設けると共に、この載置台7の上方に操作パネル63を設け、横方向に隣接して多連に配置される処理装置1であって、中抜きにされた位置に新たな処理装置1xを設置する際の位置出しを行うために、前記操作パネル63の側壁64に位置出し用のレーザ光Bを透過させるための透過窓67を形成した。

請求項（抜粋）：

装置本体の前部に、複数の被処理体が密閉状態で収容された蓋付きの運搬容器を搬送する頭上搬送機構により運搬容器の受け渡しを行う載置台を設けると共に、この載置台の上方に操作パネルを設け、横方向に隣接して多連に配置される処理装置であって、中抜きにされた位置に新たな処理装置を設置する際の位置出しを行うために、前記操作パネルの側壁に位置出し用のレーザ光を透過させるための透過窓を形成したことを特徴とする処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N

Fターム (10件)：

5F031JA02 ,  5F031KA20 ,  5F031MA06 ,  5F045AA01 ,  5F045AA03 ,  5F045AA06 ,  5F045AA20 ,  5F045AB32 ,  5F045DP19 ,  5F045EB08