特許
J-GLOBAL ID：200903028099519999
流体による処理方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米澤 明 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-031859
公開番号（公開出願番号）：特開平11-226387
出願日： 1998年02月13日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：
【要約】【課題】 化学的な処理液による処理において、処理時間の短縮と均一な処理を可能とする処理方法および処理装置を提供する。【解決手段】 流体の加熱を流体が通過する加熱管にマイクロ波の照射によって流体を加熱するとともに、加熱管の上流側には流体の加圧装置を設け、加熱管の下流側には絞り弁を設け、加圧装置による加圧によって加熱管内の圧力を上昇させて加熱の際の沸騰を防止し、さらに互いに対向して配置したノズルから流体を噴射して衝突によって混合する混合装置を設けて、流体の均一な混合を可能とした流体による処理を行った。
請求項（抜粋）：
被処理物を加熱された流体によって処理する処理方法において、流体の加熱を流体が通過する加熱管にマイクロ波の照射によって流体を加熱するものであることを特徴とする流体による処理方法。
IPC (2件)：
B01J 19/00 301
, H01L 21/304 648
B01J 19/00 301 A
, H01L 21/304 648 K
