特許

J-GLOBAL ID：200903028107009369

平面型磁気素子

発明者： 澤邊 厚仁 ,  佐藤 敏郎 ,  富田 宏 ,  井上 哲夫 ,  溝口 徹彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-188325
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036934
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】サイズの大きい基板表面でも高い生産性で製造することができ、理論値どうりの特性を有する平面型磁気素子を提供する。【構成】基板11上に磁性薄膜13、19、平面コイル17、およびこれらを電気的に絶縁する絶縁膜14、18の積層構造を有する平面型磁気素子において、基板に対する応力の方向が異なる薄膜を組み合わせることにより、薄膜全体の内部応力をキャンセルする。

請求項（抜粋）：

基板上に磁性薄膜、平面コイル、およびこれらを電気的に絶縁する絶縁膜の積層構造を有する平面型磁気素子において、基板に対する応力の方向が異なる薄膜を組み合わせたことを特徴とする平面型磁気素子。

IPC (4件)：

H01F 17/00 ,  H01F 10/16 ,  H01F 41/04 ,  H01F 41/18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-101713