特許
J-GLOBAL ID：200903028110393781
複数レーザビームの走査装置およびレーザビームの走査位置調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-089632
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282443
出願日： 1997年04月08日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 複数のレーザビームの走査位置を短時間かつ容易に高い精度で調整できる複数レーザビームの走査装置を提供する。【解決手段】 所定の光軸間隔で直線的に並列する一方および他方のレーザビーム101および102を走査線上にて一体的に走査する複数レーザビームの走査装置である。走査線に直交する方向の位置に応じて間隔が比例変化する形態でかつレーザビームを透過する第1および第2の斜線スリット部721および722からなる斜線スリット部対72を基板上に形成して構成された調整援用板70を有している。少くとも、他方のレーザビーム102が第1および第2の斜線スリット部721および722間を通過するのに要する所要時間に基づいて、他方のレーザビーム102の走査線に直交する方向の現在の位置を得て、この位置を所望される位置に調整する。
請求項（抜粋）：
所定の光軸間隔で直線的に並列する一方および他方のレーザビームを走査線上にて一体的に走査する複数レーザビームの走査装置において、走査線に直交する方向の位置に応じて間隔が比例変化する形態でかつレーザビームを透過または反射する斜線部の対を基板上に形成して構成された調整援用板を有し、少くとも前記他方のレーザビームが前記斜線部の対間を通過するのに要する所要時間に基づいて該他方のレーザビームの走査線に直交する方向の現在の位置を得て、該位置を所望される位置に調整するものであることを特徴とする複数レーザビームの走査装置。
IPC (5件)：
G02B 26/10
, G01B 11/00
, G01N 21/88
, G01S 7/48
, H01L 21/027
G02B 26/10 B
, G01B 11/00 Z
, G01N 21/88 E
, G01S 7/48 A
, H01L 21/30 502 V
