特許

J-GLOBAL ID：200903028115736601

圧電特性を有する膜の製造方法及び圧電素子

発明者： 和田 隆亜 ,  川崎 岳彦 ,  野尻 英章
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-213295
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033531
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】 下地へのダメージの無い安全な微細加工を実現し、エッチングを膜の深さ方向で制御した微細加工を容易にし、膜単体でも取り出す事を可能にする事により、高信頼性、高品質の様々な圧電素子を達成し得る圧電特性を有する膜の製造方法及び圧電素子を提供すること。【解決手段】 基板11上に形成される圧電特性を有する母相膜13の表面、裏面ないし膜中に母相膜13よりも耐食性に優れる保護層14を形成しておき微細加工を行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に形成される圧電特性を有する母相膜の表面、裏面ないし膜中に前記母相膜よりも耐食性に優れる保護層を形成しておき微細加工を行うことを特徴とする圧電特性を有する膜の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 41/24 ,  B81C 1/00 ,  C04B 35/49 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (8件)：

B81C 1/00 ,  C04B 35/49 A ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/08 K ,  C23C 14/34 U ,  H01L 41/22 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 Z

Fターム (18件)：

4G031AA11 ,  4G031AA26 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08 ,  4G031GA19 ,  4K029AA04 ,  4K029BA13 ,  4K029BA17 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC35 ,  4K029EA03 ,  4K029EA08