特許

J-GLOBAL ID：200903028116053990

表面形状測定装置及び方法

発明者： 浜田 泰三 ,  真壁 俊夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-028249
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227325
出願日： 1999年02月05日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】 長時間にわたる測定のなかで、測定機器の温度依存性から生じる測定誤差を解消すること。【解決手段】 XYテーブルをX軸方向に走査することで第1ライン11のデータを測定した後に測定開始ポイント2のデータを測定し、さらに第2ライン12のデータを測定した後に測定開始ポイント2のデータを測定し、この走査を順次繰り返し、測定開始ポイント2の測定毎のデータを比較することにより、測定途中で生じる誤差を補正して正確な表面形状の測定を可能とする。

請求項（抜粋）：

被測定物に対し、非接触でその表面形状を測定する走査型の測定装置であって、測定途中で前記被測定物上の所定のポイントを複数回測定することを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 102

FI (2件)：

G01B 21/30 Z ,  G01B 11/30 102 Z

Fターム (56件)：

2F065AA45 ,  2F065AA49 ,  2F065CC03 ,  2F065CC25 ,  2F065CC37 ,  2F065DD04 ,  2F065DD08 ,  2F065EE01 ,  2F065EE06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF21 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ19 ,  2F065KK01 ,  2F065LL04 ,  2F065MM02 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR06 ,  2F065RR09 ,  2F065UU06 ,  2F069AA51 ,  2F069AA60 ,  2F069BB13 ,  2F069DD08 ,  2F069DD19 ,  2F069DD30 ,  2F069EE02 ,  2F069EE04 ,  2F069EE22 ,  2F069FF07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG74 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ19 ,  2F069JJ26 ,  2F069MM04 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 走査型測定機のドリフト補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-065430   出願人：東陶機器株式会社
• 座標測定機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-073967   出願人：株式会社ニコン