特許
J-GLOBAL ID：200903028117376475
マスフローコントローラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287893
公開番号（公開出願番号）：特開平9-100930
出願日： 1995年10月08日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【課題】 バルブ部分の構成を簡素化し、安価でメンテナンス性に優れたマスフローコントローラを提供すること。【解決手段】 上面に弁口としての開口15a,16aが開設された弁ブロック14の上部にダイヤフラム18を設け、このダイヤフラム18の上面に、これを常時下方に押圧して前記弁口を閉塞させる押圧体19を設け、アクチュエータ22の下方への押下げ力を上向き方向の力に変換して押圧体19に伝達するピック体24を押圧体19の上方に設けたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
上面に弁口としての開口が開設された弁ブロックの上部にダイヤフラムを設け、このダイヤフラムの上面に、これを常時下方に押圧して前記弁口を閉塞させる押圧体を設け、アクチュエータの下方への押下げ力を上向き方向の力に変換して押圧体に伝達するピック体を押圧体の上方に設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。
IPC (3件)：
F16K 31/02
, F16K 7/14
, H01L 41/09
F16K 31/02 A
, F16K 7/14 A
, H01L 41/08 J
