特許
J-GLOBAL ID:200903028121924029

クリーンルーム用フィルタ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 清水 善▲廣▼ (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-098359
公開番号(公開出願番号):特開平10-272327
出願日: 1997年03月31日
公開日(公表日): 1998年10月13日
要約:
【要約】【課題】 耐食性の優れた安価なクリーンルーム用フィルタ装置を提供する。【解決手段】 ケーシングに設けられたフィルタ受けにフィルタを装着してケーシング内にフィルタを内蔵させると共に、該ケーシング内に内蔵するか、或いは、外付けした送風機により、前記フィルタを通過した清浄空気を供給するようにしたクリーンルーム用フィルタ装置において、前記ケーシングを25〜75wt%のアルミニウムと、該アルミニウム含量の0.5wt%以上のケイ素と、残部が亜鉛からなる溶融亜鉛メッキで表面処理された鋼板で構成するようにした。
請求項(抜粋):
ケーシングに設けられたフィルタ受けにフィルタを装着してケーシング内にフィルタを内蔵させると共に、該ケーシング内に内蔵するか、或いは、外付けした送風機により、前記フィルタを通過した清浄空気を供給するようにしたクリーンルーム用フィルタ装置において、前記ケーシングを25〜75wt%のアルミニウムと、該アルミニウム含量の0.5wt%以上のケイ素と、残部が亜鉛からなる溶融亜鉛メッキで表面処理された鋼板で構成したことを特徴とするクリーンルーム用フィルタ装置。
IPC (3件):
B01D 46/42 ,  B01D 46/00 ,  F24F 7/06
FI (3件):
B01D 46/42 Z ,  B01D 46/00 Z ,  F24F 7/06 C
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 清浄空気吹出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-203843   出願人:日本無機株式会社

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