特許
J-GLOBAL ID：200903028122777119
エッチング液の能力回復維持方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津田 直久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-166680
公開番号（公開出願番号）：特開平7-018473
出願日： 1993年07月06日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 陽極の電解酸化反応を高め、稼働中のエッチング装置に連動させてエッチング液の能力を連続的に回復維持できるようにする。【構成】 陽極室5には、多孔質材から成る電解液透過性の陽極8を設け、陽極室5と陰極室6とをプロトン選択透過性陽イオン交換膜7で区画した電解槽を用い、陽極室5の入口側から第1鉄イオンと第2鉄イオン又は第1銅イオンと第2銅イオンとを含むエッチング液を連続的に供給し、前記陽極8を透過させて酸化反応させ、エッチング液の能力回復維持を連続して行えるようにした。
請求項（抜粋）：
第2鉄イオンまたは第2銅イオンを主成分とし、該第2鉄イオンまたは第2銅イオンで被エッチング金属をエッチングするエッチング液の能力回復維持方法であって、電解液透過性の多孔質材よりなる陽極を挾んで両側に入口及び出口をもった陽極室と、陰極及び無機酸水溶液または塩類水溶液の電解液をもった陰極室と、これら陽極室と陰極室とを区画するプロトン選択透過性陽イオン交換膜とをもった電解槽を用い、前記陽極室の入口側から第1鉄イオンと第2鉄イオンまたは第1銅イオンと第2銅イオンとを含むエッチング液を供給し、前記陽極を透過させて出口側に流しながら、前記陰極と陽極との間に直流電流を流し、第1鉄イオンを第2鉄イオンまたは第1銅イオンを第2銅イオンに連続的に酸化させ、エッチング液のエッチング能力を回復維持することを特徴とするエッチング液の能力回復維持方法。
IPC (3件)：
C23F 1/46
, H05K 3/06
, C25B 1/00
