特許
J-GLOBAL ID：200903028128849480
検査システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325491
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256796
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 検査解像度で検査される製品のラスタ化基準イメージを含み、形状フィーチャの正確な表現を可能にするデータベースを含む、進んだ製造用検査システムを提供すること。【構成】 完全なイメージがシステム・データベース(62)に記憶され、ラスタ式にアクセスされて電子式レジストレーション・サブシステム(66)に送られる。電子式レジストレーション・サブシステムは、基準データ(62)を入力製品検査データ(64、65)に対して位置合せする。位置合せされた基準データと検査データはすべての並列な欠陥検出チャネル(67)に送られる。分類ブロック(68)で、欠陥メモリ(69)に記録するための所望のチャネルの出力を選択する。
請求項（抜粋）：
製品について欠陥の有無を自動的に検査する、検査システムであって、検査対象製品のラスタ化基準イメージを検査解像度で記録する、データベース手段と、検査対象製品を走査し、ラスタ化検査イメージ・データ・ストリームを生成する、イメージ生成手段と、ラスタ化基準イメージ・データ・ストリームを、入力ラスタ化検査イメージ・データ・ストリームと位置合せする、電子式登録手段と、上記データベースにアクセスし、上記のラスタ化基準イメージ・データ・ストリームを生成して、上記の電子式登録手段に送る手段と、それぞれが検査対象製品中の異なるタイプの欠陥を検出する回路手段を備える、位置合せされたラスタ化基準イメージ・データ・ストリーム及び入力ラスタ化検査イメージ・データ・ストリームを受け取るように接続された、複数の並列な欠陥検出チャネルと、検出された欠陥を記憶する、欠陥メモリ手段と、上記欠陥メモリ手段に記録すべき所望のチャネルの出力を選択する、分類手段とを含む検査システム。
IPC (2件)：
引用特許：
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