特許
J-GLOBAL ID：200903028131563547
ウエハアライメント装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138765
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332084
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 両面ミラーウエハを扱う場合には吸着テーブルなどの保持・回転手段を用いたアライメント動作を行なうことができない。従って、ウエハ中心位置やウエハの向きを認識することができず、搬送ロボットがカセットの溝部にウエハ外周部を当ててしまい異物が発生したり、次工程のステージに正確に位置決めできないため回路不良の原因となる。【解決手段】 センサユニット6内へのウエハ3の搬入時にウエハ位置検出用センサ4によりウエハ位置を検出し、ウエハ3’をシャフト8の先端に設けたローラ7により保持してシャフト8を傘歯車9により回転してウエハのみを水平方向に回転し、Vノッチ検出用センサ5によりウエハ外周端部を検出しウエハの方向を算出する制御手段を備えた。【効果】 回路を形成しないウエハ裏面外周部またはウエハ外周端部を保持してウエハを回転することができ、ウエハの中心位置やウエハの向きを検出することができる。
請求項（抜粋）：
ウエハ位置検出手段とウエハ方向検出手段を備えたセンサユニットと、ウエハの外周部を保持し、かつウエハを同一面内で回転することのできるウエハ保持回転部と、該センサユニット内へのウエハの搬入時にウエハ位置検出手段によりウエハ位置を検出するとともに、ウエハを回転してウエハ方向検出手段によりウエハ外周を検出しウエハの方向を算出する制御手段とを有するウエハアライメント装置。
Fターム (4件)：
5F031CA02
, 5F031JA06
, 5F031KA04
, 5F031KA14
