特許
J-GLOBAL ID：200903028139453333
真空紫外光検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-060114
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233650
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 大気中で、しかも極短時間で測定できる真空紫外光検出器を提供する。【構成】 少なくとも光検知部と光導入口からなる真空紫外光検出器において、該光検知部の光検知面と該光導入口の間に不活性ガスを流出させる構成とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも光検知部と光導入口からなる真空紫外光検出器において、該光検知部の光検知面と該光導入口の間に不活性ガスを流出させる構成を特徴とする真空紫外光検出器。
引用特許：
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