特許
J-GLOBAL ID：200903028139648916
半導体圧力変換器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-214590
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075577
出願日： 1994年09月08日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 導電ピンの本数およびハーメチックシール箇所を削減し、コスト低減と製造性および信頼性の向上を図る。【構成】 支持台1に立設される導電ピンを耐熱性非導電材料21で構成する。耐熱性非導電材料21は、複数の導電路22が形成された4枚の板状体21a〜21dを積層接着して形成されており、その端部に差圧検出用ゲージ12および温度補償用ゲージ17の各端子部がリード線16を介して接続される。
請求項（抜粋）：
半導体圧力センサを接合した支持台に気密端子を介して導電ピンを貫通立設し、前記半導体圧力センサの表面に形成したパターンの端子部と前記導電ピンをリード線で接続した半導体圧力変換器において、前記導電ピンを複数の導電路を有する少なくとも1本の耐熱性非導電材料により形成したことを特徴とする半導体圧力変換器。
IPC (2件)：
前のページに戻る
