特許

J-GLOBAL ID：200903028143631769

電子顕微鏡

発明者： 大川内 浩喜 ,  高山 真人 ,  安芸 祐一 ,  武藤 浩一 ,  武田 実
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-122037
公開番号（公開出願番号）：特開2004-327302
出願日： 2003年04月25日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】試料側を真空雰囲気中におくことなく電子ビームによる試料の観察が行え、また、試料より放出される2次電子の引き上げ効率を高めた電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】中空部6を有する絶縁性筒体2と、試料に対して微小間隙を隔てて対向される端面に形成され試料と等電位とされる電圧印加用電極膜3と、他方の端面に形成され接地される接地用電極膜4と、中空部6の内面に形成され電圧印加用電極膜3と接地用電極膜4との間を接続する抵抗膜11を備えて構成される電極リング1が照射ヘッド50の試料20との対向面側に配設され、電極リング1と試料との間の間隙は局所的に真空雰囲気とされる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

電子ビームの照射源を収容した真空容器と、 前記真空容器と連結され、前記電子ビームを試料に対して出射させる出射孔を前記試料との対向面に形成した照射ヘッドを備えた電子顕微鏡であって、 前記照射ヘッドの前記出射孔の周囲に、排気手段に接続されるリング状の吸引溝が前記試料との対向面に開口して形成され、 前記照射ヘッド内部の前記電子ビームの通過経路に電極リングが配設され、 前記電極リングは、 前記出射孔と連通し、前記試料に照射される前記電子ビーム及び前記試料から放出される2次電子が通過可能な中空部を有する絶縁性筒体と、 前記絶縁性筒体の2つの端面のうち前記試料に対して微小間隙を隔てて対向される一方の端面に形成された電圧印加用電極膜と、 前記絶縁性筒体の他方の端面に形成された接地用電極膜と、 前記中空部の内面に形成され前記電圧印加用電極膜と前記接地用電極膜との間を接続する抵抗膜とを備え、 前記電圧印加用電極膜は外部電源に接続されて前記試料と等電位とされ、前記接地用電極膜は接地される ことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18

FI (3件)：

H01J37/28 B ,  H01J37/16 ,  H01J37/18

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-356224   出願人：日本電子株式会社
• 描画装置及び描画方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-235181   出願人：キヤノン株式会社
• マルチレンズ型の静電レンズ、これを用いた電子ビーム描画装置および荷電ビーム応用装置ならびにこれら装置を用いたデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-295698   出願人：キヤノン株式会社
• 電子ビーム照射方法と電子ビーム照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-014876   出願人：ソニー株式会社