特許
J-GLOBAL ID：200903028149464449
プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-156570
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348611
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 製造工程が少なくかつ簡素で小型の製造設備を実現できる、プラズマディスプレイパネル製造方法を提供する。【解決手段】 透明電極18は、前面ガラス基板16上に透明電極用薄膜44を設け、レーザビーム64を薄膜上でX方向に連続的にかつY方向に所定の間隔をあけて照射することでレーザビームのライン状照射領域間に薄膜を残して形成する。レーザビームは、任意のレーザビームが照射される薄膜上の照射領域と、続くレーザビームが照射される薄膜上の照射領域とが一部重合するように照射され、プラズマディスプレイパネルの前面から見たとき、この照射領域の重合部76が、隔壁32に一致して形成されている。
請求項（抜粋）：
前面基板と該前面基板との間に所定の間隔をあけて略平行に配置された背面基板とを有し、背面基板に対向する前面基板の背面上に、順次、第1の方向に平行に伸びる複数の透明電極と、各透明基板の背面上を透明電極と平行に伸びるバス電極と、これら透明電極とバス電極とを被覆する誘電体層と、誘電体層を被覆する保護膜とを設け、前面基板に対向する背面基板の前面上に、第1の方向に略直交する第2の方向に平行に伸びる複数のデータ電極と、隣接するデータ電極の間にデータ電極と平行に伸びる隔壁と、隣接する隔壁の間に設けられた蛍光体とを設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前面基板の背面上の所定領域に透明電極用薄膜を形成し、この透明電極用薄膜に、レーザ発振器から周期的に出射されるレーザビームを照射して透明電極を形成する工程に、(a)レーザビームに対して前面基板を移動させながら、透明電極用薄膜上において一つのレーザビームが照射される領域とこのレーザビームに続いて出射される次のレーザビームが照射される領域とが少なくとも一部で重ねるようにレーザビームを出射して透明電極用薄膜部分を順次消失させ、これにより前面基板の露出する長溝を第1の方向に連続して形成する工程と、(b)工程(a)の終了後、形成された長溝から第2の方向に所定の距離だけ離れた場所にレーザビームの照射位置を移動する工程と、(c)工程(a)と(b)を繰り返し、透明電極用薄膜に複数の長溝を平行に形成し、これにより各隣接する長溝の間にそれぞれ透明電極を形成する工程とを含み、プラズマディスプレイパネルの前面から見たとき、透明電極上で重なった2つのレーザビーム重合部が、データ電極の位置に一致するように、前面基板と背面基板が貼り合わされることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (3件)：
H01J 9/02
, H01J 11/00
, H01J 11/02
H01J 9/02 F
, H01J 11/00 K
, H01J 11/02 B
5C027AA01
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GC06
, 5C040GC19
, 5C040JA11
, 5C040JA40
, 5C040MA26
