特許

J-GLOBAL ID：200903028162054209

透明導電膜付きガラス基板

発明者： 兵藤 正人 ,  清原 康一郎 ,  市來 聖敬
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-062324
公開番号（公開出願番号）：特開2000-261013
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 SnO2 の透明導電膜を膜厚5000Å以上に厚く成膜しても、透明導電膜にヘアクラックが生じないようにする。【解決手段】 表面平滑なアルカリ含有基板ガラス10上に、凹凸を付与するための膜厚150Å以上の結晶性を有する金属酸化物の下地膜12と、SiO2 からなり前記下地膜の凹凸を反映する膜厚のアルカリバリア連続膜14と、適当な不純物をドープしたSnO2 からなり膜厚5000Å以上の透明導電膜16が、その順序で成膜されている構造である。ここで前記透明導電膜は、その付着力がJIS R3255-1997「ガラスを基板とした薄膜の付着性試験」で測定したとき、37mN以上となるようにする。

請求項（抜粋）：

表面に機能素子用の膜を一体的に積層するための透明導電膜付きガラス基板において、表面平滑なアルカリ含有基板ガラス上に、凹凸を付与するための膜厚150Å以上の結晶性を有する金属酸化物の下地膜と、SiO2 からなり前記下地膜の凹凸を反映する膜厚のアルカリバリア連続膜と、不純物をドープしたSnO2 からなり膜厚5000Å以上の透明導電膜とがその順序で成膜され、前記透明導電膜は、その付着力がJIS R3255-1997「ガラスを基板とした薄膜の付着性試験」で規定される37mN以上であることを特徴とする透明導電膜付きガラス基板。

IPC (8件)：

H01L 31/04 ,  B32B 9/00 ,  B32B 17/06 ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/40 ,  H01B 5/14

FI (8件)：

H01L 31/04 M ,  B32B 9/00 A ,  B32B 17/06 ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/08 N ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/40 ,  H01B 5/14 A

Fターム (86件)：

4F100AA17B ,  4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AA21B ,  4F100AA25B ,  4F100AA28D ,  4F100AB11E ,  4F100AG00A ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10D ,  4F100BA10E ,  4F100BA13 ,  4F100DD01B ,  4F100EJ99 ,  4F100GB41 ,  4F100HB21B ,  4F100JA11B ,  4F100JA12E ,  4F100JD01C ,  4F100JG01D ,  4F100JK06D ,  4F100JK14 ,  4F100JK15A ,  4F100JL11D ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100JM02E ,  4F100JN01D ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4G059AA01 ,  4G059AC14 ,  4G059EA02 ,  4G059EA03 ,  4G059EA04 ,  4G059EA05 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA45 ,  4K029BA46 ,  4K029BA47 ,  4K029BA49 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BC00 ,  4K029BC01 ,  4K029BC09 ,  4K029BD01 ,  4K029EA01 ,  4K030BA11 ,  4K030BA42 ,  4K030BA44 ,  4K030BA45 ,  4K030BA46 ,  4K030BA47 ,  4K030BB05 ,  4K030BB13 ,  4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030JA01 ,  4K030LA01 ,  4K030LA04 ,  4K030LA16 ,  5F051AA05 ,  5F051BA04 ,  5F051BA11 ,  5F051FA02 ,  5F051FA03 ,  5F051FA04 ,  5F051FA19 ,  5F051GA03 ,  5F051GA06 ,  5F051GA16 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC02 ,  5G307FC04 ,  5G307FC05

引用特許：

出願人引用 (8件)

• 特開昭61-241983
  
• 特開昭62-045079
  
• 特開平2-096382
  
• 太陽電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-264611   出願人：株式会社日立製作所
• 凹凸膜作製方法,光学素子並びに光起電力素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-199003   出願人：三洋電機株式会社
• 特開昭61-227946
  
• 透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-224673   出願人：旭硝子株式会社
• 透明導電膜付きガラス板及び透明タッチパネル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-080424   出願人：日本板硝子株式会社, 日本板硝子ファイン株式会社