特許
J-GLOBAL ID:200903028164878861

X線走査方法と装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-575148
公開番号(公開出願番号):特表2002-527857
出願日: 1999年09月30日
公開日(公表日): 2002年08月27日
要約:
【要約】荷電粒子を用いた逆配置X線撮像システムにおいてX線ターゲットを走査する方法が開示されている。本発明の一局面は、X線を発生させるために、ターゲットアセンブリを横切って電子ビームを移動させるための操作パターンを指向し、荷電粒子がターゲットアセンブリ上の複数組の位置(600,620,650)を横切って移動され、その際、X線ターゲットアセンブリ上の特定位置あるいは特定組の位置(600,620)は、単一フレームの期間中に複数回再走査される。上記フレーム期間中における最初の物体照射と最後の物体照射の間の時間は充分短く、画像復元中のぼやけを防ぐ。
請求項(抜粋):
ターゲットアセンブリを横切って荷電粒子ビームを移動させる方法であって、 第1期間において少なくとも第1回と第2回でターゲットアセンブリ上の第1組の位置を横切って荷電粒子ビームを移動させ、 物体を撮像するために上記第1期間において上記ターゲットアセンブリからX線を発生させ、 上記第1期間は、好ましくない動きによって上記物体の画像が不鮮明になるのを実質的に防止するのに充分短いことを特徴とする方法。
IPC (3件):
H01J 35/30 ,  G21K 5/02 ,  H05G 1/00
FI (3件):
H01J 35/30 ,  G21K 5/02 X ,  H05G 1/00 E
Fターム (9件):
4C092AA01 ,  4C092AC01 ,  4C092BD04 ,  4C092BD05 ,  4C092BD11 ,  4C092BD13 ,  4C092BD16 ,  4C092CE07 ,  4C092DD06
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開平3-112098
  • X線装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-023372   出願人:株式会社東芝
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-112098
  • X線装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-023372   出願人:株式会社東芝

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