特許
J-GLOBAL ID：200903028173671560
投影光学系、露光装置、および露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-000017
公開番号（公開出願番号）：特開2005-195713
出願日： 2004年01月05日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】 色収差などの諸収差が良好に補正されて優れた結像性能を有し、高解像に必要な大きな像側開口数を確保することのできる反射屈折型の投影光学系。【解決手段】 第1面(R)の第1中間像(I1)を形成する第1結像光学系(G1)と、第2中間像(I2)を形成する第2結像光学系(G2)と、最終像を第2面(W)上に形成する第3結像光学系(G3)とを備えている。第1結像光学系は、第1凹面反射鏡(CM1)と、第1面からの光束を第1凹面反射鏡に反射する第1平面反射鏡(M1)とを有し、第1平面反射鏡の近傍に第1中間像を形成する。第2結像光学系は、第2凹面反射鏡(CM2)と、第2凹面反射鏡からの光束を第3結像光学系に反射する第2平面反射鏡(M2)とを有し、第2平面反射鏡の近傍に第2中間像を形成する。第3結像光学系と第2面との間は液体により満たされている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1面の像を第2面上に形成する投影光学系において、
前記第1面の第1中間像を形成するための反射屈折型の第1結像光学系と、前記第1中間像からの光束に基づいて第2中間像を形成するための反射屈折型の第2結像光学系と、前記第2中間像からの光束に基づいて最終像を前記第2面上に形成するための屈折型の第3結像光学系とを備え、
前記第1結像光学系は、第1凹面反射鏡と、前記第1面からの光束を前記第1凹面反射鏡に向かって反射するための第1平面反射鏡とを有し、該第1平面反射鏡の近傍に前記第1中間像を形成し、
前記第2結像光学系は、前記第1中間像からの光束を反射するための第2凹面反射鏡と、該第2凹面反射鏡からの光束を前記第3結像光学系に向かって反射するための第2平面反射鏡とを有し、該第2平面反射鏡の近傍に前記第2中間像を形成し、
前記第3結像光学系の最も第2面側の光学面と前記第2面との間の光路は所定の液体により満たされていることを特徴とする投影光学系。
IPC (4件)：
G02B17/08
, G02B13/24
, G03F7/20
, H01L21/027
G02B17/08
, G02B13/24
, G03F7/20 521
, H01L21/30 515D
2H087KA21
, 2H087PA15
, 2H087PA17
, 2H087PB20
, 2H087RA05
, 2H087TA01
, 2H087TA02
, 5F046BA04
, 5F046CA04
, 5F046CB02
, 5F046CB12
, 5F046CB24
, 5F046DB03
