特許
J-GLOBAL ID：200903028177043840
薄膜エレクトレットコンデンサマイクロホン及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331245
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150795
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 エレクトレット層の厚さ等のばらつきに起因する性能の個体差を生じることがなく、しかもより高性能にする。【解決手段】 バックエレクトレット方式の薄膜エレクトレットコンデンサマイクロホンであり、背極板4の表面上に高分子FEPの微粒子で薄膜120を直接形成する薄膜形成工程(A)〜(D)と、薄膜120に分極処理を施す分極工程(E)又は(F)とを有している。薄膜形成工程は、高分子FEPの微粒子を分散した有機溶媒100をスピンオンコート法で背極板4上に塗布する工程(A)と、有機溶媒100が塗布された背極板4を加熱して有機溶媒110のみを除去する工程(B)と、有機溶媒110のみを除去した背極板4をより高い温度で加熱して高分子FEPの薄膜を形成する工程(D)とを有している。分極工程は、薄膜形成工程の後に水等の溶液200で背極板4を冷却することで行なう。
請求項（抜粋）：
振動板と、その後面側に配置された電極板としての背極板と、背極板の振動板側の表面に形成されたエレクトレット層とでコンデンサ部を形成するバックエレクトレット方式のエレクトレットコンデンサマイクロホンにおいて、前記エレクトレット層は高分子FEPの微粒子が分散された有機溶媒を塗布することで形成された薄膜であって分極処理が施されているものであることを特徴とする薄膜エレクトレットコンデンサマイクロホン。
引用特許：
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