プラズマディスプレイ表示装置の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-258672
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075174
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】プラズマディスプレイ表示装置において隔壁形成時のレジストが残留するとパネル内で不純物ガスの原因となりこの影響で放電効率が低下する。また、電極間にレジスト残さ等があると、誘電体中に不純物や気泡の発生原因になり、電極間の絶縁性を低下させる。【解決手段】隔壁材を埋め込む前や、電極を焼成する前等にオゾン水、イオン水を用いて洗浄することによりレジスト除去性を高め、電極間の絶縁性を向上させるとともに、プラズマディスプレイ表示装置内にレジスト残留をなくし、不純物ガスの発生を防止し放電効率を低下させない。

請求項（抜粋）：

放電空間を規定する隔壁形成工程が基板上にレジストを形成する第1工程、露光、現像により開口部を形成する第2工程、隔壁材料を前記開口部に充填する第3工程、前記レジストを除去し前記隔壁を焼成する第4工程を有し、第3工程の前に前記開口部をオゾン水で洗浄することを特徴とするプラズマディスプレイ表示装置の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 , G09F 9/00 338 , H01J 11/02

FI (3件)：

H01J 9/02 F , G09F 9/00 338 , H01J 11/02 B

Fターム (20件)：

5C027AA01 , 5C027AA06 , 5C027AA09 , 5C040FA01 , 5C040FA04 , 5C040GC19 , 5C040GD09 , 5C040GF19 , 5C040JA15 , 5C040JA20 , 5C040JA23 , 5C040JA28 , 5C040LA17 , 5C040MA10 , 5C040MA23 , 5G435AA17 , 5G435BB06 , 5G435CC09 , 5G435HH20 , 5G435KK05

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