特許

J-GLOBAL ID：200903028183938050

光起電力素子の作製方法

発明者： 酒井 明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-185647
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051228
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】 高価な付帯設備なしで、プラズマ生起から成膜工程への円滑かつ安定な移行が可能である光起電力素子の作製方法を提供する。また、プラズマ生起時に発生しやすかった異常放電を防止し、成膜装置の実効稼働時間を増大することで、低コストな光起電力素子の作製方法を実現する。【構成】 帯状部材が複数の成膜空間の中を連続的に通過するとき、マイクロ波プラズマCVD法により該帯状部材の表面上に複数の異なる薄膜を積層形成してなる光起電力素子の作製方法において、前記成膜空間内に、予めマイクロ波エネルギーの導入手段からマイクロ波エネルギーを導入し、これに続いてRFエネルギーの導入手段からRFエネルギーを導入することによって、マイクロ波プラズマを生起する。また、前記成膜空間の圧力を、50mTorr以下とする。

請求項（抜粋）：

帯状部材が複数の成膜空間の中を連続的に通過するとき、マイクロ波プラズマCVD法により該帯状部材の表面上に複数の異なる薄膜を積層形成してなる光起電力素子の作製方法において、前記成膜空間内に、予めマイクロ波エネルギーの導入手段からマイクロ波エネルギーを導入し、これに続いてRFエネルギーの導入手段からRFエネルギーを導入することによって、マイクロ波プラズマを生起することを特徴とする光起電力素子の作製方法。

IPC (3件)：

H01L 31/04 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 31/04 T ,  H01L 31/04 V