研磨面のコンディショニング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012725
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202504
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】研磨装置に組み込まれ、複数種類の工具が装着される研磨面のコンディショニング装置において、研磨面の形状精度の向上及びコンディショニング工程の効率の向上を図ることが可能なコンディショニング装置を提供する。【解決手段】軸1の先端には大径のフランジ部17が形成され、ドレッシング用の砥石2は、フランジ部17の外周に沿ってボルト19で固定される。ブラシ3は、フランジ部17の中央に設けられた真空吸着部12を介して着脱可能に装着される。ブラシ3を真空吸着部12に装着したとき、ブラシ3の先端は、砥石2の先端よりも軸方向前方に位置する様に構成されている。また、ブラシ3を使用しないときには、ブラシ3は洗浄槽6に収容される。

請求項（抜粋）：

軸の先端に研磨面のコンディショニング用工具を複数装着する研磨面のコンディショニング装置であつて、前記複数個のコンディショニング用工具の内、1個を除いた他の全てのコンディショニング用工具が、自動着脱可能な手段により装着されることを特徴とする研磨面のコンディショニング装置。

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