特許
J-GLOBAL ID：200903028187328532
ガラス製成形基板の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166842
公開番号（公開出願番号）：特開2000-351635
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：
【要約】【課題】 表面に凹凸により微細なパターンが形成された大面積のガラス製成形基板を、高い成形精度且つ高い生産性で製造することができる装置を提供する。【解決手段】 本発明の装置は、加熱室10、成形室20及び冷却室30を直列に接続することにより構成される。加熱室10内及び冷却室30内は不活性ガス雰囲気で維持され、成形室20内はガラス基板のプレス成形の前に真空状態に排気される。加熱室10と成形室20は、第一予備室60を介して接続され、成形室20と冷却室30は、第二予備室70を介して接続される。更に、加熱室10の入口側には第三予備室80が設けられ、冷却室30の出口側には第四予備室90が設けられる。第一予備室60及び第二予備室70内には、静電気力を用いた非接触吸引浮上方式の移載装置65、75が配置され、これらを用いて、高温のガラス基板1及び成形基板2の移載が行われる。
請求項（抜粋）：
平板状のガラス基板を所定の温度まで加熱する加熱室と、この加熱室に隣接して配置され、真空排気手段を備え、成形型を収容し、前記ガラス基板を成形して表面に微細なパターンが形成された成形基板に変える成形室と、この成形室に隣接して配置され、前記成形基板を所定の温度まで冷却する冷却室と、前記ガラス基板を、前記加熱室から前記成形室へ移載する第一移載機と、前記成形基板を、前記成形室から前記冷却室へ移載する第二移載機と、を備えたことを特徴とするガラス製成形基板の製造装置。
IPC (3件)：
C03B 11/00
, H01J 9/02
, H01J 11/02
C03B 11/00 A
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
5C027AA09
, 5C040GF19
, 5C040JA20
, 5C040JA34
, 5C040JA40
, 5C040MA23
