特許
J-GLOBAL ID：200903028191412190
被研磨加工物の保持材およびこの保持材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-173976
公開番号（公開出願番号）：特開2005-011972
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】高い保持機能を有するとともに、保持機能や研磨精度を低下させるような保持材への研磨液の浸透を抑制できる被研磨加工物の保持材およびこの保持材の製造方法を提供する。【解決手段】5〜600μmの膜厚を有する第1の湿式凝固多孔質フィルムを上層9とし、研磨圧力が300gf/cm2以上1800gf/cm2以下の範囲において圧縮率が4.5以上60.0%以下の範囲に変形可能な第2の湿式凝固多孔質フィルムを下層10として、前記両湿式凝固多孔質フィルムが接着された2層構造となっている被研磨加工物の保持材。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
第1の湿式凝固多孔質フィルムを上層とし、第2の湿式凝固多孔質フィルムを下層として、前記上層から下層への研磨液の透過を抑制する接着層を介して前記第1の湿式凝固多孔質フィルムと前記第2の湿式凝固多孔質フィルムとを積層状態で接着している、ことを特徴とする被研磨加工物の保持材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/304 622G
, B24B37/04 E
3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058CB01
, 3C058CB02
, 3C058CB05
, 3C058CB10
, 3C058DA13
, 3C058DA17
