特許

J-GLOBAL ID：200903028192772572

片面ラップ盤のラップ面修正装置

発明者： 近藤 道雄
出願人/特許権者： 大同特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 守田 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350487
公開番号（公開出願番号）：特開2001-162513
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月19日
要約：

【要約】【課題】 研磨作業中のラップ面の変形を検出して即座にこれを修正することにより常にラップ面を所望形状に保つ。【解決手段】 片面ラップ盤1の回転軸L1上にミラー14を設けるとともに、ラップ面1aの周面上に置かれた修正リング2の回転軸L2上にミラー23を設ける。投光装置3からの平行光P1,P2を各ミラー14,23に入射させ、その反射光をCCDカメラ5上に点像として入射させる。制御装置6はCCDカメラ5上におけるミラー14からの反射光の入射点とミラー23からの反射光の入射点との間の距離より、回転軸L1に対する回転軸L2の傾きを検出する。そして、上記傾きが零になるように重心移動機構61を介して修正リング2の重心位置をラップ面1aの内外周方向へ移動制御し、ラップ面を常に平坦な形状に保つ。

請求項（抜粋）：

片面ラップ盤のラップ面の周面上に置かれた修正リングの回転軸の、ラップ面の回転軸に対する傾きを検出する傾き検出手段と、検出された傾きを、零を含む所定値にするように前記修正リングの重心位置を前記ラップ面の内外周方向へ移動制御する重心位置制御手段とを具備する片面ラップ盤のラップ面修正装置。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 621 B ,  H01L 21/304 622 M

Fターム (9件)：

3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058AC01 ,  3C058BA09 ,  3C058BA14 ,  3C058BB01 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17