特許

J-GLOBAL ID：200903028201115873

縦型炉用ボート

発明者： 黒岩 淳 ,  福所 孝
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072685
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235156
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、熱処理時において、自重によるウエハの撓みを抑えることによりウエハが反らない縦型炉用ボートを提供する。【構成】 複数本の支柱11〜14と、各支柱11〜14に対してほぼ直角になる状態にかつ互いに平行になる状態に当該各支柱11〜14に設けた複数の支持板17とよりなるものである。あるいは支持板17に、ウエハ100を搬送するウエハ搬送装置の搬送用アーム(図示せず)が遊挿可能な遊挿部(図示せず)を形成したものである。または支持板17のウエハ100を載置する側の面に複数の突起(図示せず)を設けたものであるか、あるいは支持板17に複数の孔(図示せず)を設けたものである。

請求項（抜粋）：

複数本の支柱と、前記各支柱に対してほぼ直角になる状態にかつ互いに平行になる状態に、当該各支柱に設けた複数の支持板とよりなることを特徴とする縦型炉用ボート。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/324

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-102225
  
• 特開昭63-219993
  
• 特開昭63-102225