特許
J-GLOBAL ID：200903028202793328
圧電振動角速度計用振動子の共振周波数調節方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-335085
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178487
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 振動子の駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数との差を調節する具体的な方法を提供すること。【解決手段】 第1の面部分A1または第2の面部分B1のうち、一方の面部分に対してYAGレーザのパルス照射を、共振周波数差が小さくなる間、継続して行なう工程と、共振周波数差が小さくならなくなったとき、他方の面部分に対してYAGレーザのパルス照射を、共振周波数差が小さくなる間、継続して行なう工程とを交互に繰り返し行なって、共振周波数差を最終目標値まで到達させる。
請求項（抜粋）：
圧電材料から成る圧電振動角速度計用振動子の側面に対して所定の削り量で削り加工を行ない、該振動子の駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数との差を調節する圧電振動角速度計用振動子の共振周波数調節方法において、前記振動子の有する第1の側面を上下部分に分割し、該上部分を第1の面部分とし該下部分を第2の面部分とした場合、該第1の面部分または該第2の面部分に対して、前記削り加工を、前記振動子の駆動側の共振周波数と検出側の共振周波数との差が最終目標値に達するまで行なうことを特徴とする圧電振動角速度計用振動子の共振周波数調節方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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