特許
J-GLOBAL ID:200903028204776250
放射線検出装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-259907
公開番号(公開出願番号):特開平11-101895
出願日: 1997年09月25日
公開日(公表日): 1999年04月13日
要約:
【要約】【課題】 従来のように、蛍光板中のバインダや粉体、又はそれらの界面で、光が、散乱吸収されることがなく、厚くしても光の伝達効率が低下しない、高感度な蛍光板を備えた放射線検出装置を得る。【解決手段】 前記単結晶蛍光体102を第1の基板101に設ける工程と、前記単結晶蛍光体102を研磨する工程と、少なくとも光電変換素子、スイッチング素子、容量素子、配線を作成した第2の基板上に前記第1の基板上の単結晶蛍光体面を貼り合わせる工程と、前記貼り合わせた後、前記第1の基板を取り去る工程と、を有することを特徴とする放射線検出装置の製造方法。
請求項(抜粋):
単結晶蛍光体を第1の基板に設ける工程と、前記単結晶蛍光体を研磨する工程と、前記単結晶蛍光体が発する光を電気に変換する画像読取装置を形成した第2の基板上に前記第1の基板上の単結晶蛍光体面を貼り合わせる工程と、前記貼り合わせた後、前記第1の基板を取り去る工程と、を有することを特徴とする放射線検出装置の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G21K 4/00 A
, G01T 1/00 B
引用特許:
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