特許

J-GLOBAL ID：200903028205424226

放電特性測定装置および放電特性測定方法

発明者： 宮原 清彦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-322172
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131231
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 複数の電極対が平面的に配されたパネルの各電極対をチャンバー室内で放電状態にしその放電状態を光学測定する場合に、その効率化、低コスト化、正確さの向上等を実現する。【解決手段】 パネル72を収納するチャンバー室1の内部を真空にした後、さらにそのチャンバー室1の内部を所定雰囲気にし、所定雰囲気になったチャンバー室1に収納されているパネル72の各電極対を放電状態にして、その放電状態をチャンバー室1の外側から光学的に測定する放電特性測定装置において、各電極対が配された平面方向に沿ってチャンバー室1を移動させて、そのチャンバー室1内のパネル72と光学測定手段8との相対位置を可変させ、光学測定手段8がパネル72の各電極対の放電状態を測定し得るようにする。

請求項（抜粋）：

複数の被測定箇所が平面的に配された被測定物を収納するチャンバー室と、前記チャンバー室の内部を真空または所定雰囲気にする雰囲気制御手段と、前記雰囲気制御手段によって所定雰囲気にされたチャンバー室に収納されている被測定物を放電状態にする放電制御手段と、前記放電制御手段による被測定物の放電状態を前記チャンバー室の外側から光学的に測定する光学測定手段と、前記光学測定手段が前記チャンバー室に収納された被測定物の放電状態を測定し得るように、当該被測定物の被測定箇所が配された平面方向に沿って前記チャンバー室を移動させる移動制御手段とを備えることを特徴とする放電特性測定装置。

IPC (2件)：

G01N 21/67 ,  G01N 21/01

FI (2件)：

G01N 21/67 C ,  G01N 21/01 B

Fターム (21件)：

2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043DA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA09 ,  2G043FA01 ,  2G043GA07 ,  2G043GB19 ,  2G043JA01 ,  2G043LA01 ,  2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059CC20 ,  2G059DD13 ,  2G059EE06 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ30 ,  2G059LL01 ,  2G059MM09 ,  2G059PP10