電子線装置および該電子線装置装置を用いたデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-052053
公開番号（公開出願番号）：特開2002-252259
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】小さいビーム径に大きなビーム電流を得ることができる電子線装置を提供する。【解決手段】電子銃から放出された電子線を一次光学系にて試料面上に結像させ、該試料面から放出される二次電子を一次光学系から分離して二次光学系に入射させ、二次検出器で検出する電子線装置において、前記電子銃は正方形の各コーナーに配置した4個のエミッター、または一次光学系の光軸を中心とした円周上に配置した偶数個のエミッターを有する熱電界放出電子銃よりなり、前記二次検出器は該エミッターに対応する複数個の検出器からなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子銃から放出された電子線を一次光学系にて試料面上に結像させ、該試料面から放出される二次電子を一次光学系から分離して二次光学系に入射させ、二次電子検出器で検出する電子線装置において、前記電子銃は正方形の各コーナーに配置した4個のエミッターを有する熱電界放出電子銃よりなり、前記二次電子検出器は該エミッターに対応する4個の検出器からなることを特徴とする電子線装置。

IPC (8件)：

H01L 21/66 , G01N 23/225 , G03F 1/08 , G03F 7/20 521 , H01J 37/073 , H01J 37/28 , H01J 37/29 , H01L 21/027

FI (8件)：

H01L 21/66 J , G01N 23/225 , G03F 1/08 S , G03F 7/20 521 , H01J 37/073 , H01J 37/28 B , H01J 37/29 , H01L 21/30 502 V

Fターム (30件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001DA02 , 2G001DA08 , 2G001EA04 , 2G001GA09 , 2G001GA10 , 2G001GA13 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA15 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001RA04 , 2G001RA08 , 2H095BD01 , 2H095BD14 , 2H095BD17 , 2H095BD19 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DB05 , 5C030CC10 , 5C033FF10 , 5C033JJ07 , 5C033MM07 , 5C033UU02 , 5C033UU10

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