特許

J-GLOBAL ID：200903028211926209

湿度センサ

発明者： 豊田 稲男
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-173034
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365256
出願日： 2001年06月07日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 センシング電極や基板接続用の接続用電極といった電極部が、測定環境下に露出するのを防止し、安価で信頼性の高い容量式湿度センサを提供する。【解決手段】 センサチップ20の一面21には、感湿膜40、該感湿膜の容量値変化を検出するためのセンシング電極61、62、該センシング電極からの信号を処理するための回路素子部200、該回路素子部の電極212と基板のターミナル電極15とを電気的に接続する接続用電極としてのバンプ80が形成されている。センシング電極61、62及び回路素子部の電極212はシリコン窒化膜70にて被覆保護され、バンプ80は樹脂等の被覆部材90にて被覆保護されている。

請求項（抜粋）：

一面(11)側に外部と電気的に接続するための配線部材(15)を有する基板(10)と、一面(21)側が前記基板の一面に対向して配置されたセンサチップ(20)と、このセンサチップの一面側に測定環境に露出するように前記基板の一面と離間して設けられ、湿度に応じて容量値が変化する感湿膜(40)と、この感湿膜の容量値変化を検出するために前記センサチップの一面側に設けられたセンシング電極(61、62)と、このセンシング電極と電気的に接続された状態で前記センサチップの一面側に設けられ、前記配線部材と電気的に接続された接続用電極(80)と、前記センサチップの一面側に設けられ、前記センシング電極のうち前記接続用電極との接続部以外の部位を被覆する保護膜(70)と、前記接続用電極の周囲に設けられ前記接続用電極を被覆する被覆部材(90)とを備えることを特徴とする湿度センサ。

Fターム (7件)：

2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF10 ,  2G060AG11 ,  2G060BB07 ,  2G060JA02