特許

J-GLOBAL ID：200903028213751368

クリーンルーム

発明者： 村尾 圭子 ,  谷嶋 幹子
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033675
公開番号（公開出願番号）：特開平5-228378
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 クリーンルームに関し,壁からの汚染物質がウエハーを汚染しないクリーンルームの提供を目的とする。【構成】 垂直層流式クリーンルームにおいて,壁に近い側の壁側層流2, 3の風速を壁から遠い側の内側層流4の風速より大きくするクリーンルームにより構成する。

請求項（抜粋）：

垂直層流式クリーンルームにおいて,壁に近い側の壁側層流(2, 3)の風速を壁から遠い側の内側層流(4) の風速より大きくすることを特徴とするクリーンルーム。