特許

J-GLOBAL ID：200903028214338790

紫外光照射装置

発明者： 関 祐子
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-168600
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002650
出願日： 1998年06月16日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 AO変調器によりビームをスキャンするレーザ光照射装置においては、従来300n m以下の短波長の場合に、AO変換効率低下で照射光強度が十分に確保できない、紫外光吸収による欠陥発生でAO素子が劣化し、長期の使用が不可能であったという問題があったが、本発明はこれを解消し、十分な検査光強度の保持が可能な照射装置を提供する。【解決手段】 入射光を可視光とし、AO変調器の通過後に波長変換素子を通過させることにより、AO変調器の変調効率を確保したまま、300nm以下の短波長の紫外光の照射を可能とし、AO素子の劣化を避ける。

請求項（抜粋）：

偏向手段でビームを偏向走査し、試料の所定の面積に隈無くレーザ光を照射する光照射装置において、偏向手段と試料との間に、入射光を該入射光の波長よりも短い波長のビームに変換する非線形光学素子を挿入することを特徴とする紫外光照射装置。

IPC (5件)：

G01N 21/01 ,  G01N 21/33 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/01 D ,  G01N 21/33 ,  G03F 1/08 S ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 V

Fターム (26件)：

2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059CC20 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ30 ,  2H095BD02 ,  2H095BD13 ,  2H095BD19 ,  4M106AA02 ,  4M106AA09 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106CA38 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB08 ,  4M106DB11 ,  4M106DB15 ,  4M106DB16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光学的情報記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-299200   出願人：日本ビクター株式会社
• 特開平4-158247