真空ポンプ用スクロールタイプ流体容積形装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外10名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-576176
公開番号（公開出願番号）：特表2002-527670
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2002年08月27日
要約：

【要約】スクロールタイプ真空ポンプ(10)において、エキスパンダ(40、50)およびコンプレッサ(60、70)を直列に2ステージとして同じハウジング(20)内に配置して、同じ軸(22)によって駆動する。第1ステージは、スクロールタイプ・エキスパンダである。これは、スクロールタイプ・コンプレッサと直列状態にあり、このコンプレッサが、第2ステージとなる。第2ステージ(コンプレッサ)の吸入ポケットの体積は、第1ステージ装置(エキスパンダ)の放出ポケットの体積よりそれほど小さくない。したがって、再膨張・圧縮プロセスに伴う熱量が減少する。2ステージ・ポンプは、また、二重軸シール機構(11、92)を包含し、このシール機構は、大気およびエキスパンダの放出室の両方からエキスパンダの吸入室をシールする。本発明の2ステージ・ポンプは、さらに、スクロール要素の先端面にラビリンス構造(301〜304)を包含し、対応するスクロール要素の先端、ベース間の軸線方向(δ)ギャップを緊密に制御する。

請求項（抜粋）：

スクロールタイプ容積形装置であって、a)第1スクロール要素が突出するベース面を備えた第1端板を有する第1スクロール部材と、b)第2スクロール要素が突出するベース面を備えた第2端板を有する第2スクロール部材と、c)前記第1、第2のスクロール部材を180度だけ位相変位した軸方向偏心位置において結合したときに、前記第1、第2のスクロール部材間に構成される一対の吸入室、膨張室および一対の放出室と、d)第3スクロール要素が突出するベース面を備えた第3端板を有する第3スクロール部材と、e)第3スクロール要素が突出するベース面を備えた第4端板を有する第4スクロール部材と、f)前記第3、第4スクロール部材を180度だけ位相変位した軸方向偏心位置において結合したときに、前記第3、第4スクロール部材間に構成される一対の吸入室、圧縮室および一対の放出室と、g)第2、第3スクロール部材に駆動力を伝える軸であり、少なくとも1つのベアリングで支えられている軸とを包含し、h)前記第3、第4スクロール部材によって形成された前記吸入室の体積が、前記第1、第2スクロール部材によって形成された前記放出室の体積よりそれほど小さくないことを特徴とするスクロールタイプ容積形装置。

IPC (7件)：

F04C 23/02 , F02B 53/00 , F04C 18/02 311 , F04C 18/02 , F04C 25/02 , F04C 27/00 331 , F04C 29/00

FI (10件)：

F04C 23/02 A , F02B 53/00 A , F04C 18/02 311 A , F04C 18/02 311 P , F04C 18/02 311 Q , F04C 18/02 311 T , F04C 25/02 N , F04C 27/00 331 , F04C 29/00 A , F04C 29/00 U

Fターム (24件)：

3H029AA02 , 3H029AA17 , 3H029AB01 , 3H029AB06 , 3H029AB08 , 3H029BB00 , 3H029BB16 , 3H029CC01 , 3H029CC02 , 3H029CC05 , 3H029CC07 , 3H029CC19 , 3H029CC20 , 3H029CC38 , 3H029CC39 , 3H039AA02 , 3H039AA09 , 3H039AA14 , 3H039BB00 , 3H039BB15 , 3H039CC01 , 3H039CC05 , 3H039CC31 , 3H039CC35

引用特許：

審査官引用 (6件)

スクロール圧縮機
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-284872 出願人：三菱重工業株式会社
スクロール圧縮機
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143954 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-214978

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