特許
J-GLOBAL ID：200903028223122091
物品の製造方法、物品の製造システムおよび複数の加工処理装置の運用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-023457
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223499
出願日： 1997年02月06日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】加工処理装置であらかじめ設定された加工処理条件をモニタし、設定範囲内で加工処理条件が制御されているのを確認したり、加工処理装置が正常に稼働しているのを確認していても不良処理が発生することがある。【解決手段】複数の加工処理装置の稼働状況やその加工処理状態を検査し、また加工処理後の物品の検査を行い、検査データを蓄積、データ処理を行い、複数の加工処理装置による加工処理状態や加工処理結果の比較を行う。
請求項（抜粋）：
物品の製造方法において、同一の加工処理を複数の加工処理装置を用いて行う場合に、複数の加工処理装置の稼働状況やその加工処理状態を検査し、また加工処理が終わった後の物品の検査を行い、上記検査データの結果を蓄積、データ処理し、複数の加工処理装置による加工処理状態や加工処理結果の比較を行い、これに基づいて、複数の加工処理装置による物品の加工処理結果が、以降の処理に対して品質管理上影響がでない範囲となるように、複数の加工処理装置を管理することを特徴とする物品の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02
, H01L 21/3065
H01L 21/02 Z
, H01L 21/302 A
