光学式寸法測定器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉田政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215334
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052523
出願日： 1991年08月27日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】ポリゴンミラーを用いた光学式寸法測定器において、高価なfθレンズを使用することなく、等角速度で走査される光ビームを平行に走査される光ビームに変換可能とする。【構成】放物面鏡Mよりなる偏向用光学系の焦点位置近傍にポリゴンミラー3を配置した。【効果】光ビームを平行に走査させるために、fθレンズなどの高価な光学部品を使う必要がなくなり、コストダウンを図れる。また、放物面鏡Mは反射光学系なので、透過光学系では用いにくいプラスチックなどでも製作が可能であり、更にコストダウンが図れる。

請求項（抜粋）：

光ビームを等角速度で走査するためのポリゴンミラーと、等角速度で走査された光ビームを平行な走査に偏向するための偏向用光学系と、平行に走査される光ビーム中に配置される被測定物と、被測定物で遮光されなかった光ビームを集光する受光用光学系と、受光用光学系の集光点に配置された受光素子と、受光素子の受光信号に基づいて被測定物の寸法を出力する信号処理回路系とを備える光学式寸法測定器において、前記偏向用光学系は放物面鏡よりなり、前記ポリゴンミラーは前記放物面鏡の焦点位置近傍に配置されていることを特徴とする光学式寸法測定器。

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