特許
J-GLOBAL ID：200903028232394851
走査型レーザー顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-011933
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203878
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 コントラストが低い微細構造も検出可能で、物体の測長、測積等が容易な走査型レーザー顕微鏡。【構成】 物体S上に集束レーザービームを2次元的に走査しながら照射し、物体Sから散乱された光を検出器15で検出することにより物体像を観測する走査型レーザー顕微鏡において、2次元走査を各走査方向について所定間隔でデジタル化して行い、かつ、画像信号を所定の諧調数にデジタル化して検出するようにして、走査位置とその位置の散乱光強度とを関連付けて物体像として記憶、画像処理して、コントラストは低いが微細構造情報を含む諧調部分のみを切り出し、黒濃度から白濃度へ分布するように諧調変換することにより、従来の走査型レーザー顕微鏡では観測できなかった微細構造を見ることができる。
請求項（抜粋）：
物体上に集束レーザービームを2次元的に走査しながら照射し、物体から散乱された光を検出することにより物体像を観測する走査型レーザー顕微鏡において、照射する集束レーザービームの2次元走査を各走査方向について所定間隔でデジタル化して行い、かつ、画像信号を所定の諧調数にデジタル化して検出するようにしたことを特徴とする走査型レーザー顕微鏡。
引用特許：
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