特許
J-GLOBAL ID：200903028232422197
3次元形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022332
公開番号（公開出願番号）：特開平7-229720
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】微細な凹凸パターンの3次元形状を高速に測定する。【構成】この3次元形状測定装置は、2波長レーザ光1を出射する2波長レーザ光源2と、この2波長レーザ光1を試料4上に集光する色収差対物レンズ5と、2波長レーザ光1を偏向させる光走査ユニット6とを備える。また、ハーフミラー7で分離された2波長レーザ光1を集光する色消し集光レンズ8と、この色消し集光レンズ8の焦点位置に置かれているピンホール9と、このピンホール9を通過する光を各各の波長成分毎に検出する分光センサ10と、この分光センサ10から出力される各各の波長域の光強度から試料4の光軸方向の高さを測定する高さ検出回路14とを備える。
請求項（抜粋）：
複数の波長を含む光を投光する光源と、この光源から投光される光を被測定物近傍に焦点を結ぶように集光する色収差を有する色収差対物レンズと、前記被測定物表面で反射し前記色収差対物レンズを通過する光を集光する色収差補正の施されている色消しレンズと、この色消しレンズの集光スポット位置に配置されているピンホールと、このピンホールを通過する光を分光し各各の波長域ごとの光強度を測定する分光器と、この分光器から出力される各各の波長域の光強度から前記被測定物の光軸方向の高さを測定する高さ演算回路と、前記色収差対物レンズの前記集光スポット点と前記被測定物とを相対的に走査せしめる走査手段とを備えることを特徴とする3次元形状測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
