特許
J-GLOBAL ID：200903028232607995
窒化アルミニウム焼結体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070405
公開番号（公開出願番号）：特開平5-229873
出願日： 1992年02月19日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 焼成後の反りの発生が小さく、表面粗さの小さな窒化アルミニウム基板を製造する。【構成】 窒化硼素等のセッター3間において、窒化アルミニウム成形品1の周囲をセラミック製のスペーサ2で囲んだ状態において焼成する。このスペーサとしては、窒化アルミニウム50〜100重量%、窒化硼素50〜0重量%と焼結助剤とからなるセラミック焼結体のスペーサ2を用いてもよい。あるいは、窒化アルミニウム50〜70重量%、窒化硼素50〜30重量%と焼結助剤とからなるセラミック未焼結体のスペーサ2を用いてもよい。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムを主成分とする薄板状の窒化アルミニウム成形品を焼成するに際し、焼成すべき窒化アルミニウム成形品の周囲にセラミック製のスペーサを配置して当該窒化アルミニウム成形品を囲み、この窒化アルミニウム成形品及びスペーサの上下をセラミック製のセッターで挟んで当該窒化アルミニウム成形品を焼成する窒化アルミニウム焼結体の製造方法において、前記スペーサが窒化アルミニウム50〜100重量%、窒化硼素50〜0重量%と焼結助剤とからなるセラミック焼結体であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/58 104
, C04B 35/64
