フォトレジスト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千田稔 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-583242
公開番号（公開出願番号）：特表2003-532933
出願日： 2001年05月08日
公開日（公表日）： 2003年11月05日
要約：

【要約】本発明は複素脂環式基、好ましくは酸素-または硫黄-含有環を含むポリマーに関する。複素脂環式基は好ましくはポリマー骨格に縮合している。本発明はまた、そのようなポリマーを含むフォトレジストに関する、特には200nm以下のような短波長でのイメージング用のフォトレジストに関する。

請求項（抜粋）：

i)ポリマー骨格に縮合した、1以上の酸素または硫黄の環構成元素を含む複素脂環式基、ii)ポリマー骨格に縮合した炭素脂環式基、およびiii)フォト酸レイビル部位を含むポリマー、および光活性成分を含む、フォトレジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/10 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 , C08F220/10 , H01L 21/30 502 R

Fターム (34件)：

2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 4J100AK31Q , 4J100AK32Q , 4J100AL08P , 4J100AM02Q , 4J100AQ01Q , 4J100AR11R , 4J100AR31S , 4J100AR32S , 4J100BA05S , 4J100BA11S , 4J100BB18P , 4J100BC02P , 4J100BC03P , 4J100BC04P , 4J100BC07P , 4J100BC08P , 4J100BC09P , 4J100BC12P , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA38

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