特許

J-GLOBAL ID：200903028234368050

研磨材

発明者： 和知 浩子 ,  近藤 清孝
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-337939
公開番号（公開出願番号）：特開2004-168931
出願日： 2002年11月21日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【解決課題】スクラッチやディッシングの発生しない研磨材を提供する。【解決手段】金属の配位子となりうる官能基を有し、Tg(ガラス転位点温度)が80°C以下である有機微粒子と、酸化剤及び水を含有してなる研磨材。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

金属の配位子となりうる官能基を有し、Tg(ガラス転位点温度)が80°C以下である有機微粒子と、酸化剤及び水を含有してなる研磨材。

IPC (3件)：

C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304

FI (4件)：

C09K3/14 550C ,  C09K3/14 550Z ,  B24B37/00 H ,  H01L21/304 622D

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058CA01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12