特許

J-GLOBAL ID：200903028237355366

液晶基板又はICウエハの外観検査用の欠陥検出方法及び欠陥検出装置

発明者： 小野 順一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-053915
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247957
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 この発明の目的は、同一画面上に全ての欠陥を表示することができると共に、装置構造の複雑化と検査時間の増長を伴わない液晶基板又はICウエハの外観検査用の欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供するものである。【構成】 複数の欠陥に対応する複数種の光源と光学系とを用いて、標本S表面に対して斜めの位置から標本S表面の直線に直交する方向に照明光を照射する回折光源11と、標本S表面に対して斜めの位置から標本S表面の直線に斜交する方向に照明光を照射する散乱光源15,16と、標本S表面に対して垂直方向に照明光を照射する干渉光源21の光量を適当に配分し、それぞれに対応する光学系を介して標本S表面に同時に照明光を照射し、標本S表面からの各種光源特有の欠陥を一つのCCDカメラ26で検出した後、欠陥像をモニター27の同一画面上に表示できるようにした。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方向に連続する複数の直線が形成された被検体の表面に照明光を照射して被検体の欠陥を検出する液晶基板又はICウエハの外観検査用の欠陥検出方法において、複数の欠陥に対応する複数種の光源と光学系とを用いて、被検体表面に対して斜めの位置から被検体表面の直線に直交する方向に照明光を照射する回折光源と、被検体表面に対して斜めの位置から被検体表面の直線に斜交する方向に照明光を照射する散乱光源と、被検体表面に対して垂直方向に照明光を照射する干渉光源の光量を適当に配分し、それぞれに対応する光学系を介して被検体表面に同時に照明光を照射し、被検体表面からの各種光源特有の欠陥を一つの検出手段で検出した後、各種光源による欠陥像を画像表示装置の同一画面上に表示できるようにしたことを特徴とする液晶基板又はICウエハの外観検査用の欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 表面欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-320747   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 回転型欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-211245   出願人：株式会社ニコン