寸法測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-285189
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109432
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：

【要約】【目的】投光器から発射された光ビームを被測定物に照射して、受光した受光器からの電気信号を処理し、非接触で被測定物の寸法を測定する寸法測定装置における、投光器および受光器のレンズまたは窓の汚れによる寸法測定の異常検出を防止し、測定精度を上げる。【構成】本発明の寸法測定装置は被測定物に対して光ビームを投射する投光器1と、投光器1から投射された光ビーム4を受け被測定物5によってもたらされる光の強弱(明暗)に対応した強度を有する電気信号を出力する受光器2とを備え、この受光器2から出力された電気信号を受けて光ビーム4の強度を検出する第一の検出器9と、電気信号のゆらぎの振幅を検出する第二の検出器10とが設けられる。さらに、これらの第一の検出器9および第二の検出器10のうちのすくなくとも一方からの信号を受けて、投光器1または受光器2の汚れを監視する監視装置13とから構成される。

請求項（抜粋）：

被測定物(5)に対して光ビーム(4)を投射する投光器(1)と、前記投射された光ビームを受け被測定物によってもたらされる光の強弱に対応した強度を有する電気信号を出力する受光器(2)と、前記電気信号を受けて、前記被測定物の寸法または形状を測定する寸法測定装置であって、前記電気信号から前記光ビームの強度を検出する第一の検出器(9)と、前記電気信号のゆらぎの振幅を検出する第二の検出器(10)と、前記第一の検出器および前記第二の検出器のうちの少なくとも一方からの信号を受けて、前記投光器または受光器の汚れを監視する監視装置(13)とを備えた寸法測定装置。

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