スライドアクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-331308
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190014
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】ピストンの変位作用下に変位するスライドテーブルの変位量を、前記ピストンが往復動作する範囲内において連続に、且つ高精度に検出すること。【構成】スライドテーブル14の変位に伴い、保持部材46a、46bを介して該スライドテーブル14に固着された検出ヘッド42がガラススケール40に沿って変位する。前記検出ヘッド42では、前記ガラススケール40を透過した発光部58a〜58dからの発光光を受光部で受光することによりパルス信号を外部機器に導出し、前記パルス数をカウントとすることによりスライドテーブル14の変位量が連続して検出される。

請求項（抜粋）：

流体圧によりシリンダボデイ内部のピストンを変位させ、前記ピストンの変位作用下にスライドテーブルが移動するスライドアクチュエータにおいて、前記ピストンに連結され、該ピストンの変位作用下に前記シリンダボデイから外部に露呈するピストンロッドと、前記シリンダボデイに対してスライド自在に形成されるとともに、前記ピストンロッドの一端部と係合するスライドテーブルと、前記シリンダボデイとスライドテーブルとの間に設けられ、前記スライドテーブルをシリンダボデイの長手方向に沿って案内する案内機構と、前記シリンダボデイ内に設けられ、スライドテーブルの変位量を連続的に検出する変位量検出機構と、を備えることを特徴とするスライドアクチュエータ。

IPC (3件)：

F15B 15/14 , F15B 15/28 , G01B 11/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭60-215110
特開昭61-157806
特開昭60-215110

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