研磨装置および研磨方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-307976
公開番号（公開出願番号）：特開平10-146762
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】研磨液の使用量を抑えつつ、試料に汚染やマイクロスクラッチを発生させることの少ない研磨装置および研磨方法を提供する。【解決手段】研磨液を用いて試料Sを研磨する研磨部(13)と、循環研磨液タンク(11)と、新研磨液タンク(12)と、循環研磨液タンク(11)と新研磨液タンク(12)からの研磨液を切り換えて研磨部(13)へ研磨液を供給する機能を備えた研磨液供給ライン(14および17)と、研磨部(13)で使用された研磨液を循環研磨液タンク(11)へ回収する研磨液回収ライン(19)を備える研磨装置。研磨部(13)と循環研磨液タンク(11)との間で循環させて使用する研磨液(51)により試料Sを研磨した後、新研磨液タンク(12)から供給される未使用の研磨液(53)により試料Sを研磨する研磨方法。

請求項（抜粋）：

研磨液を用いて試料を研磨する研磨部と、循環研磨液タンクと、新研磨液タンクと、循環研磨液タンクと新研磨液タンクからの研磨液を切り換えて研磨部へ研磨液を供給する機能を備えた研磨液供給ラインと、研磨部で使用された研磨液を循環研磨液タンクへ回収する研磨液回収ラインを備えることを特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 57/02 , H01L 21/304 321 , H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 57/02 , H01L 21/304 321 E , H01L 21/304 321 M

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