特許
J-GLOBAL ID:200903028262480620

一体化複合電極

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 寛幸 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-090291
公開番号(公開出願番号):特開平6-296595
出願日: 1993年04月16日
公開日(公表日): 1994年10月25日
要約:
【要約】【目的】 神経細胞の多点同時刺激・記録を長期にわたり行うことができ、応答性の優れた一体化複合電極を提供する。【構成】 硬質ガラスの絶縁基盤3上の全面にITO膜を蒸着し、8×8の格子上の各交点に各電極1の中心部が位置し、各電極の最近接の電極の中心間距離が等しく、しかもリード線2が放射状に伸びた形状にITO膜をエッチングする。ついで、絶縁層4としてネガティブフォトセンシティブポリイミドをスピンコートし、各電極の中心に一辺50μmの正方形の孔5ができるように、絶縁層パターンを露光形成する。さらに、各電極の露出部分(すなわち1辺50μmの正方形の内部)に、膜厚500オングストロームとなるように金6を蒸着する。リード線2の電極1と反対方向の端部近傍の部分の外部回路との接点は、金7およびニッケル8でコートする。
請求項(抜粋):
絶縁基盤上に、最近接の電極間距離が相等しい複数個の電極を備え、前記電極からリード線を略放射状に配設した配線部と、前記リード線をカバーする絶縁層とを設け、かつ電極面積が3×102 μm2 以上4×104 μm2 以下の範囲であり、電極部の表面抵抗が10Ω/cm2 以下である一体化複合電極。
IPC (4件):
A61B 5/0408 ,  A61B 5/0492 ,  A61B 5/0478 ,  H01B 5/14
FI (3件):
A61B 5/04 300 E ,  A61B 5/04 300 N ,  A61B 5/04 300 J
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平4-204244

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