特許

J-GLOBAL ID：200903028264882645

現像液

発明者： 望月 英章 ,  増田 哲也 ,  森嶋 高志
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-333456
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186675
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】 着色画像形成用現像液としての諸性能を維持しつつ、従来の現像液よりも更に処理時間を短縮することができ、しかも廃液処理の手間が少なく、変質しにくい現像液を提供する。【解決手段】 (a)塩基性化合物を0.1重量%〜10重量%、(b)界面活性剤を0.1重量%〜20重量%、(c)フェノール類化合物を0.01重量%〜20重量%、(d)水を70重量%〜99.7重量%、及び(e)酸化防止剤を0.01重量%〜20重量%含有してなる現像液。

請求項（抜粋）：

(a)塩基性化合物を0.1重量%〜10重量%、(b)界面活性剤を0.1重量%〜20重量%、(c)フェノール類化合物を0.01重量%〜20重量%、(d)水を70重量%〜99.7重量%、及び(e)酸化防止剤を0.01重量%〜20重量%含有してなる現像液。

IPC (3件)：

G03F 7/32 ,  C09K 15/04 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/32 ,  C09K 15/04 ,  H01L 21/30 569 E